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加熱型薄膜規(guī)的七大優(yōu)點(diǎn)
加熱型薄膜規(guī)的七大優(yōu)點(diǎn)
更新時(shí)間：2016-09-26 點(diǎn)擊次數(shù)：2331
加熱型薄膜規(guī)
壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系,通過測(cè)量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測(cè)量真空度
1、零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
2、更高的精度
3、環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對(duì)精度無影響
4、比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’
5、快速恢復(fù)時(shí)間 大氣壓 < 1 min within 5mV
6、任意安裝角度
7、抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
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INFICON電容薄膜規(guī)的十三大特點(diǎn)
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