INFICON  BPG402-S B-A型皮拉尼復合真空計(大氣壓至超高真空真空計)

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG402-S 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×^10-10 mbar至大氣壓（3.8×^10-10 Torr 至大氣壓）。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。為負擔不重且可重復的過程選擇帶有雙氧化釔銥絲的 BPG402-S，以經濟高效的方式執行基本壓力測量。傳感元件帶有板載校準數據，保證更換傳感器時的高再現性。

這種 Bayard 熱電離（雙絲極）皮拉尼結合真空計 BPG402-S 系列直接取代 ITR 200 系列熱電離皮拉尼發射器：

好處

• 從 5 x ^10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x ^{10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍}

• 在 ^10-8 ...^10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優秀的重復性

• 皮拉尼聯鎖保護絲極，防止過早燒毀

• 雙長使用壽命氧化釔銥絲

• 備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

• 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員的干預

• 傳感元件帶有板載校準數據，易于更換，可保證高再現性

• 符合 RoHS 標準

新聞

• 新！ 現在提供 EtherCAT 數字接口！

典型應用

• 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

• 工業鍍膜

• 低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制