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C系列質量流量控制器（MFC）是緊湊且快速響應型，用于非腐蝕性氣體，流量從50SCCM至50SLM，范圍從滿量程0.1%至。控制方式有0至5VDC模擬和RS485，所需電源電壓為24VDC。

GE50A是通用型彈性密封流量控制器，適合流量范圍在5SCCM至50SLM的各種氣體流量控制。該GE50A控制器采用了的數字流量控制的電子原件及技術的熱傳感器和機械設計。

1179A MKS1179A MKS1179A質量流量計是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。

180A ALTATM MKS數字型金屬密封流量計

M100B質量流量控制器

2179A質量流量控制器和截止閥